SATIRİÇİ MONİTÖRLEME

Satıriçi monitörleme (ya da sıralı izleme) sistemleri üretim esnasında hareketli filmlerin kalınlığını izler ve kontrol eder. Birden fazla ölçüm noktasında 100 Hz'ye kadar numune hızları mümkündür.

F30 gerçek zamanlı olarak yarı iletkenlerin ve dielektrik (yalıtkan) tabakaların film kalınlığını, reflektansı, Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOCVD) esnasındaki depozisyon hızını, saçtırmayı (sputtering), optik sabitleri (n ve k) ve homojenliği izler ve kontrol eder. F37 ise reflektansı, kalınlığı ve 7 noktaya kadar depozisyon hızını eşzamanlı olarak izler ve kontrol eder.