PLAZMA KAPLAMA SİSTEMLERİ

Saçtırma (sputtering) yarı-iletken endüstrisindeki entegre devre işlemlerinde çeşitli mazlemeler için ince film katmanı (deposition) oluşturmada yoğunlukla kullanılır. Saçtırmanın en yaygın örneklerinden biri çift camlı pencerelerde kullanılan camlar üzerindeki düşük yayma kuvvetli (low-emissivity) kaplamalardır. Kaplama gümüş ve çinko oksit, kalay oksit ya da titanyum dioksit gibi metal oksit içeren çok-katmanlı bir kaplamadır. Torna kalemi kaplamalarında titanyum nitrit gibi saçılmış nitrit kullanarak bilindik altın renkli sert kaplamayı meydana getiren geniş bir endüstri gelişmiştir. Saçtırma aynı zamanda CD ve DVD'lerin üretiminde metal (ör. alüminyum) biriktirmek için kullanılır.

Sabit disklerin yüzeyleri CrOx ve diğer saçtırılmış malzemeler kullanmaktadır. Saçtırma optik dalgakılavuzu ve verimli fotovoltaik solar hücre üretiminde kullanılan başlıca işlemlerden biridir.

Saçtırma biriktirme (sputter deposition) taramalı elektron mikroskobu (SEM) örneklerinin yüzeylerinin kaplanmasında sıklıkla kullanılır.

Sağladığımız plazma kaplama sistemleri (ya da plazma kaplayıcılar) dünyadaki araştırmacılar ve mühendisler için ideal ve çok-fonksiyonlu bir teknoloji sunmaktadır. Rotalab bilimin farklı alanlarındaki ihtiyaçları karşılamak amacaıyla çeşitli plazma saçtırma sistemleri - mini, kompakt ya da masaüstü modeller - sağlamaktadır.

  • GSL-1100X-SPC12-LD

  • GSL-1100X-SPC12H-LD

  • GSL-1100X-SPC-16M-LD

  • VTC-16-SM

  • VTC-16-3HD

  • GSL-1800X-SBC2-LD

  • VTC-1RF

  • VTC-2RF

  • VTC-2DC

  • VTC-600-2HD