UV POZLAMA & MASKELEME SİSTEMLERİ

UV pozlama sistemlerinin amacı fotorezistin bazı bölümlerinde PAC (PhotoActive Component - FotoAktif Bileşen) aktivasyonu ile çapraz bağlanmayı başlatmaktır. Bu aktivasyon, pişirme işleminden sonra bir çözücü içerisinde çözünebilir olacak veya olmayacak olan fotorezistin lokal özelliklerini değiştirecektir.

Fotolitografi uygulamaları için bir UV kaynağı seçerken dikkate alınması gereken bazı önemli parametreler vardır. Bu parametreler: i) güç ve pozlama süresi, ii) optik ışının karakteristikleri, iii) ışık kaynağı tipi, ve iv) zaman ve uzaydaki değişkenlik.

Işık kaynağı tipi son zamanlarda önemli bir parametre haline gelmiştir, çünkü daha öncesinde cıva ark lambalar UV fotolitografi pozlaması için uygun olan yüksek yoğunluklu ışığı sağlayabilen tek kaynaklardı. LED teknolojisindeki gelişmeler sayesinde, UV-LED lambalar, pahalı ve yüksek enerji tüketen cıva lambalara karşı çok cazip bir alternatif haline gelmiştir.

Ekoloji ve güvenlik açısından sağladığı avantajlara ek olarak, geleneksel cıva lambalarla karşılaştırıldığında UV-LED lambaların ayrıca teknik avantajları fotolitografi için sayısızdır ve çok önemlidir. UV-LED lambaların en önemli avantajı, çok uzun ömürleri boyunca tutarlı bir emisyonla ve %100 monokromatik olan ışıkla çalışmasıdır. Bu sayede, günlük bakım ve kalibrasyon gereksiz hale gelmektedir. Dahası, enerji tasarruflu olmaları sayesinde, UV-LED lambalar sistemin soğutulmasını büyük ölçüde kolaylaştıran azaltılmış ısınma özelliğine sahiptir. Ayrıca, kullanımdan önce ısınmak ve stabilize olmak için yaklaşık 30 dakikaya ihtiyaç duyan cıva lambalardan farklı olarak, UV-LED lambalar anında çalışmaya başlar ve bu sayede hızlı bir şekilde açılıp kapatılabilirler. Son olarak, UV-LED lambaların ortalama 20.000 saatlik ömrü vardır, bu da cıva lambalara kıyasla yaklaşık 10 kat daha uzundur.

RotaLab araştırma ve üretim için birçok son teknoloji UV pozlama ve maskeleme sistemi sağlamaktadır.