UV OZON TEMİZLEYİCİLER (UVO Temizleyiciler)

UV Ozon temizleme veya UVO temizleme prosedürü, kirleticilerin yüzeylerden uzaklaştırılmasında etkili bir yöntemdir. Ortam sıcaklığında hem havada hem de vakum sisteminde hızlı temiz yüzeyler üretebilen kullanımı kolay ve ucuz bir kuru prosestir. Ayrıca, ıslak işlemlerde ön temizleme ve son temizleme (post-cleaning) için de etkilidir.                             

UV Ozon temizleme, kısa dalga boyundaki UV radyasyon emilimi ile fotorezistlerin, reçinelerin, insan cilt yağlarının, temizleme solventi kalıntılarının ve silikon yağlarının kirletici moleküllerinin ekzite olduğu ve/veya ayrıştığı ışığa-duyarlılaştırılmış bir oksidasyon sürecidir. Atomik oksijen, moleküler oksijen 184.9 nm ile ve ozon 253.7 nm UV ile ayrıştırıldığında eşzamanlı olarak üretilir. 253.7 nm UV radyasyonu çoğu hidrokarbon ve aynı zamanda ozon tarafından emilir. Kirletici moleküllerin bu uyarımının ürünleri, yüzeyden desorbe olan basit ve uçucu moleküller oluşturmak için atomik oksijenle reaksiyona girerler. Bu nedenle, her iki UV dalga boyu mevcut olduğunda, atomik oksijen sürekli olarak üretilir ve ozon devamlı olarak oluşturulur ve yok edilir. Önceden temizlenmiş örnekler, cıva buharı şebeke lambası gibi ozon üreten UV kaynağına beş milimetre yakınlığa kadar yerleştirildiğinde, neredeyse atomik düzeyde temiz yüzeyler bir dakikadan kısa bir sürede elde edilebilir.

RotaLab'ın UV Ozon temizleyicileri, yarı iletken wafer, silikon, galyum arsenit, ITO, kuvars, mika, safir, seramik, cam, altın ve platin yüzeyler, LCD ve LED ekranlar, AFM probları ve uçları, ve SEM ve TEM örneklerinin UV bazlı temizliği için endüstride ve araştırmalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Ürünlerimiz ayrıca fotorezisti çıkarmak ve sıyırmak, yüzey ıslatılabilirliğini artırmak, UV polimer aktivasyonu sağlamak, PDMS / cam mikroakışkan aygıtların montajını ve yapıştırılmasını sağlamak için ve bir çok başka uygulamada kullanılır.