DÖRT NOKTA PROB SİSTEMLERİ

Dört-terminal algılama (4T algılama), 4-tel algılama veya 4-nokta probları metodu daha basit ve daha alışılmış iki-terminal (2T) algılamadan daha hassas ölçümler yapmak için akım taşıyan ve voltaj algılayıcı elektrot çiftleri kullanan bir elektriksel empedans ölçüm tekniğidir. Bazı ohmmetreler ve empedans analizörlerinde, ve gerinim ölçer ve dirençli termometreler için kablolamada dört-terminal algılama kullanılır.

Dört uçlu algılama prensibine dayanan ve yaygın olarak kullanılan dört nokta prob, yarı-iletken örneklerin özdirencini ölçmek için geliştirilmiş bir sistemdir. Akımın iki dış probdan geçirilmesi ve voltajın iç problardan ölçülmesi, ince filmlerin yüzey direncinin (sheet resistance) ölçülmesini sağlar.

Yüzey direnci ölçümleri, iletken veya yarı iletken kaplamaların ve malzemelerin üniformitesini karakterize etmek için sıkça kullanılır, ör. kalite kontrol için. Tipik uygulamalar arasında metal, TCO, iletken nanomalzemelerin inline proses kontrolü veya camlar, waferlar, düz panel ekranlar, polimer folyolar, OLED, seramikler üzerindeki diğer kaplamalar yer alır. Dört nokta probun teması genellikle sert veya kaba malzemelerin tek nokta ölçümleri için uygulanır. Temassız eddy akımı sistemleri inline ölçümler ve yüksek çözünürlüklü haritalama amacıyla hassas veya kapsüllenmiş kaplamalar için uygulanır.