DÜŞÜK BASINÇ PLAZMA SİSTEMLERİ

Gaz plazma işlemi kontrollü substrat yüzey temizleme, yapışmayı güçlendirme ve ince film kaplama uygulamaları için kanıtlanmış bir üretim standartıdır. Bu teknoloji manuel operasyonlara göre daha yüksek iş hacmi, daha fazla tutarlılık ve daha düşük maliyet sağlar. Plazma, klasik (yaş) analizleri devre dışı bırakır ve endüstride çevre açısından temiz teknoloji olarak benimsenmiştir.

Genel olarak, düşük basınç plazma veya alçak basınç plazma malzemeler arasında daha güçlü bir yapışma ya da yüzey özelliğinde bir değişiklik arzulandığı zaman kullanılır. Düşük basınç plazma yüzey modifikasyonu açısından birçok olanak sunar:

- Plazma temizleme: yüzeylerdeki her türlü kalıntıları, yağları, ya da kontaminasyonları temizleme
- Plazma aktivasyonu: yapıştırma ve boyama gibi işlemlerden önce çeşitli malzemelerin aktivasyonu
- Plazma aşındırma: yüzeylerin aşındırılması ve kısmen ortadan kaldırılması
- Plazma kaplama: çeşitli katmanlar ile parçaların kaplanması

Plazma temizleme (plasma cleaning) yüzeylerdeki kirliliği ve kontaminantları gaz türlerinden oluşturulan enerjik plazma ya da Dielektrik Bariyer Deşarjı (Dielectric Barrier Discharge, DBD) kullanarak temizler. Argon ve oksijen gibi gazlar ya da hava ve hidrojen/nitrojen gibi karışımlar kullanılır. Düşük basınç (genelde 1/1000 atmosfer basınç civarı) gazı iyonize etmek için yüksek frekans voltaj kullanarak plazma oluşturulur. Fakat, atmosferik basınç plazma da artık yaygındır.