CVD FIRINLARI

CVD fırınlar silikon karbür, ısıl bozunumlu (pirolitik) karbon, bor nitrür, çinko selenür ve çinko sülfür gibi birçok materyalin kimyasal buhar biriktirme (Chemical Vapor Deposition, CVD) ve kimyasal buhar filtreleme (Chemical Vapor Infiltration, CVI) işlemlerinde kullanılır. Gaz ve buhar dağıtma sistemleri reaktantı ve N, H, Ar, CO2, metan, silikon tetraklorür, metiltriklorosilan, amonyak ve diğer taşıyıcı gazları dağıtmak için kütle akışı denetimini ve oranlama vanasını koordine eder.

RotaLab bilimsel çalışmalar ve endüstriyel üretim için kimyasal buhar biriktirme ve filtreleme amacıyla tasarlanmış birçok laboratuvar fırını ve diğer ısıl işlem sistemleri sağlamaktadır.