Fırınlar

PECVD FIRINLARI

Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD) fırınları çoklu işlem kapasitesini tam üretim sistemleri için gereken maksimum kapasite ihtiyacı ve araştırmalarda ve pilot üretimlerde kullanılan küçük versiyonların esnekliği ile birleştirmiştir.

RotaLab'ın sağladığı PECVD fırınlar ile diğer laboratuvar fırınları ve ısıl işlem sistemleri kullanıcıya yüksek işlem esnekliği sağlarken yüksek verim, laboratuvarda az yer kaplama ve fiyat avantajları açısından en üst düzeydedir.

  • GSL-1100X-PECVD


    Kuartz hazneli 400°C Kompakt PECVD Sistem | MTI Türkiye

  • OTF-1200X-4CLV-PE-UL


    4 kanallı gaz dağıtım sistemli ve vakum pompalı 1200°C PECVD Bölmeli Tüp Fırın | MTI Türkiye

  • OTF-1200X-4CV-PE-SL-UL


    4 kanallı gaz dağıtım sistemli, yağsız vakum pompalı, sürgülü ve çok-bölmeli 1200°C PECVD Tüp Fırın | MTI Türkiye

  • OTF-1200X-50-II-PE-MSL-UL


    Ön ısıtıcıya ve kontrol edilebilir sürgü mekanizmasına sahip 1200°C PECVD Tüp Fırın (50 mm OD) | MTI Türkiye

  • OTF-1200X-50S-PE-SL


    OD Kuartz tüplü, vakum pompalı ve otomatik sürgülü 1200°C Kompakt PECVD Tüp Fırın | MTI Türkiye

  • OTF-1500X-80-III-4CV-PE-SL


    4 kanallı gaz dağıtım sistemli, yağsız vakum pompalı ve üç bölmeli 1500°C PECVD Tüp Fırın (80 mm OD) | MTI Türkiye

  • GSL1100X-PJF-A


    Yüzey işlemi için otomatik tarama sistemli Atmosferik Plazma Işını | MTI Türkiye

  • OTF-PECVD-RF


    OD Tüp Fırın için 500W 13.56MHz RF Jeneratörü | MTI Türkiye